新 宏诚 OTFC-1300 在 东莞市, 广东省, 中国
新
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规格参数
- 新旧状况
- 新
- 规格
- 1300mm
- 加工定制
- 否
- 真空室
- SUS304, φ1300mm×1610mm (H)
- 蒸发源电子枪
- 2把
- 工件架
- φ1130
- 工件架转速
- 10rpm to 50rpm(可变)
- 光学膜厚控制
- HOM2-R-VIS350A
- 水晶式膜厚计
- XTC/3+6点式水晶传感器
- 离子源
- 17cmRF离子源
- 泵
- 排气系统机械泵 2个扩散泵 Polycold或2个冷凝泵
- 基板温度最高
- 350℃
- 排气时间
- 15分（大气压～1.3×10-3 Pa)
- 设备尺寸
- 5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
- 电源
- 电源3相,200v,50/60Hz, 约104KVA
- 水流量
- 140升/分以上
- 空气压力
- 0.5MPa以上
- 重量约
- 8500kg
- 可售卖地
- 全国
- 子类别
- 机械设备
- 子类别 2
- 多功能包装机械
- 产品编号
- 100535963
描述
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