新 HGTECH LUA3200 全自动晶片激光退火机 在 武汉市, 湖北省, 中国
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HGTECH LUA3200 超高效全自动晶圆激光退火机：EFEM 系统对晶圆进行预定位，定制的激光退火头和精密运动平台协同对整个 SiC 晶圆背面金属（Ni 或 T 层）进行退火，确保良好的欧姆接触、降低接触电阻并提升器件性能。产品优势
HGTECH LUA3200 超高效全自动晶圆激光退火机：EFEM 系统对晶圆进行预定位，定制的激光退火头和精密运动平台协同对整个 SiC 晶圆背面金属（Ni 或 T 层）进行退火，确保良好 的欧姆接触、降低接触电阻并提升器件性能。