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龙仁市, 韩国- 龙仁市, 韩国
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湿作业台（wet bench）是用于零件和晶圆的化学处理、清洗、蚀刻和冲洗的台式或模块化设备。它集成槽体、泵、过滤、加热和排气系统，以安全处理液体和危险化学品。广泛应用于电子、镀层和半导体行业，按材料相容性、产能和自动化程度选择最合适的机型。
检查槽体材料的耐化学性、槽体和密封的状况、泵阀运转、过滤器和加热器、排气及安全联锁。要求维修记录和有害化学品使用历史。
排空并中和所有化学品，进行表面去污，固定或拆除易损部件，封堵管路并标示化学品使用史。选择有实验室或工业设备运输经验的承运人，并确认许可与保险。
确保合适电源、DI/RO纯水、化学品供给管路、排水和良好通风。安排泵、过滤器、加热器检查，密封件更换、腐蚀检查及安全联锁和排气系统测试。