膜厚测量仪是用于半导体、光学与表面加工行业的精密计量设备,用于测量薄膜、涂层与层厚。常见技术包括椭偏仪、反射计、轮廓仪和X射线法,能提供从纳米到微米级的精度。采购时应关注光谱范围、光斑大小、重复性、软件功能以及洁净室兼容性与检测产能。
确认所需精度与测量范围、样品类型、光斑尺寸、测量速度、软件兼容性,以及是否需要洁净室或减振设施,并要求在代表性样品上演示。
索取最近的校准证书,进行现场测试或见证出厂验收测试,并用认证参考样品测量以确认重复性和准确性。
采用恒温恒湿、抗震保护的包装,使用泡沫托架、振动隔离和冲击记录器。选择有实验室或半导体设备运输经验的承运商,并投保运输险。
定期清洁光学元件、周期性校准、软件升级、灯源或探测器更换。建议签订保养合同,确认备件供应和远程支持能力。