二手 etch

确认工艺兼容性（化学刻蚀或等离子体）、腔体和夹具状况、密封件与泵的健康、控制器/软件状态、维护记录、排气与过滤系统，以及备件和耗材的可获得性。询问过去的工艺以评估污染风险。

对化学品进行清洁与中和，排空所有液体，断开气源和电源，并记录危险品历史。选择有实验室/半导体设备运输经验的承运商，牢固装箱固定易损部件，投保并准备危险品申报与许可文件。

定期清洗腔体、更换滤芯与泵、检查真空密封、进行气路泄漏检测、校准控制器，并妥善中和与处置废液。保持维护记录，按照厂商建议的周期和流程更换耗材以保证工艺稳定性。