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龙仁市, 韩国- 龙仁市, 韩国
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CD‑SEM（关键尺寸扫描电子显微镜）是用于半导体计量的高精度检测设备，用于测量晶圆和掩模上的线宽、间距与轮廓。它将电子成像与软件分析结合，实现纳米级的关键尺寸测量、叠层（overlay）检查与缺陷表征。CD‑SEM 常见于晶圆厂与研发部门，需受控环境、定期校准及专业维护以保证可重复、可追溯的结果。
查看保养与真空记录、电子柱与探测器状况、软件许可与版本、校准证书、备件供应情况以及是否有翻新或升级记录。
确保所需洁净室等级、减振设施、稳定电源与接地、冷却或空调、压缩空气/气体接口以及足够的地面承载与操作空间。
采用专业货运，进行电子柱锁定、气候控制、冲击监测与加固包装，并安排现场拆箱与性能验证。
常规维护包括真空泵保养、电子源维护或更换、探测器清洁、台面校准、软件升级以及技术人员的预防性保养。
未必包含；建议要求近期校准证书或安排厂家/认可实验室校准，并建立定期核验计划以确保可追溯性。