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2012 等离子热敏仪、VERSALINE、ICP-RIE 刻蚀机
- 品牌: Plasma-Therm
- 型号: VERSALINE
序号: 不适用 | 数量: 1 | 设备细节: ICP-RIE蚀刻机 | 设备: ICP-RIE蚀刻机 | 描述: 晶圆 200 毫米（最大值）
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