设备/部件类型: 射频发生器 | ......验证: 1.1 | 样式: MKS-050B05DL-PS-V | 生产国家/地区: 日本
设备/部件类型: 射频发生器直流单元 | 样式: DFK45Z-JA4 | 生产国家/地区: 日本