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荏原，A25S，干泵
- 品牌: Ebara
- 型号: A25S
序号: 不适用 | 数量: 1 | 设备细节: 干式泵 | 设备: 干式泵 | 描述: 速度 2500-3000L/min，压力 4.0-5.3Pa
水原市, 韩国
2013 SUNGCHANG, SC-300L-A, 冷水机组
- 品牌: SUNGCHANG
序号: E300LA-1306-1 | 数量: 1 | 设备细节: 冷水机组 | 设备: 冷水机组 | 描述: 制冷量 7000 千卡/小时（20℃ 时）
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2016 Unit, UFC-1660, 质量流量控制器 (MFC)
- 品牌: United Forms Corp
- 型号: UFC-1660
序号: A3223001308 | 数量: 1 | 设备细节: 质量流量控制器 (MFC) | 设备: 质量流量控制器 (MFC) | 描述: 气体：SiH4，范围30SCCM
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Mykrolis，FC-280SAV，质量流量控制器 (MFC)
- 品牌: Mykrolis
序号: AW910137 | 数量: 1 | 设备细节: 质量流量控制器 (MFC) | 设备: 质量流量控制器 (MFC) | 描述: 燃气：HE，范围100SCCM
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TYLAN，FC-280SAV，质量流量控制器 (MFC)
- 品牌: TYLAN
序号: AW9511186 | 数量: 1 | 设备细节: 质量流量控制器 (MFC) | 设备: 质量流量控制器 (MFC) | 描述: 气体：H2，范围10SLM
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HORIBA STEC，SEC-4400M，质量流量控制器 (MFC)
- 品牌: Horiba
- 型号: SEC-4400M
序号: 281104762 | 数量: 1 | 设备细节: 质量流量控制器 (MFC) | 设备: 质量流量控制器 (MFC) | 描述: 气体：O2O2，范围： 2SLM
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CELERITY，FC-280SAV，质量流量控制器 (MFC)
- 品牌: CELERITY
序号: AW11051613 | 数量: 1 | 设备细节: 质量流量控制器 (MFC) | 设备: 质量流量控制器 (MFC)
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2013 Edwards，STP-A1603CV，涡轮分子泵
- 品牌: Edwards
- 型号: STP
序号: 137037241 | 数量: 1 | 设备细节: 涡轮分子泵 | 设备: 涡轮分子泵 | 描述: 重量 35 千克，转速 36500 转/分钟
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CELERITY，FC-280SAV，质量流量控制器 (MFC)
- 品牌: CELERITY
序号: AW11071506 | 数量: 1 | 设备细节: 质量流量控制器 (MFC) | 设备: 质量流量控制器 (MFC)
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MKS，1179A07012CR1BK-S，质量流量控制器 (MFC)。
- 品牌: MKS
序号: 670560957 | 数量: 1 | 设备细节: 质量流量控制器 (MFC) | 设备: 质量流量控制器 (MFC) | 描述: 气体：BCL3，范围100SCCM
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MKS，1479A12CR1BM，质量流量控制器 (MFC)。
- 品牌: MKS
序号: 281608412 | 数量: 1 | 设备细节: 质量流量控制器 (MFC) | 设备: 质量流量控制器 (MFC) | 描述: 气体：BCL3，范围100SCCM
水原市, 韩国
MKS，1479A12CR1BM，质量流量控制器 (MFC)。
- 品牌: MKS
序号: 21365037 | 数量: 1 | 设备细节: 质量流量控制器 (MFC) | 设备: 质量流量控制器 (MFC) | 描述: 气体：BCL3，范围100SCCM
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MKS，1179C03931CR1BV-K，质量流量控制器 (MFC)。
- 品牌: MKS
序号: 100018796 | 数量: 1 | 设备细节: 质量流量控制器 (MFC) | 设备: 质量流量控制器 (MFC) | 描述: 气体：SiH4，范围30SCCM
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