板块尺寸: 8000 | 真空泵: 500 | 功率[千瓦]: 4
板块尺寸: 2000 | 真空泵: 350 | 功率[千瓦]: 2
板块尺寸: 1500 | 真空泵: 350 | 功率[千瓦]: 1
