设备名称: 激光多普勒速度计
设备名称: 对准调节用DR掩膜
设备名称: 调节 GAP 单元
设备名称: 对准器
设备名称: 调整器尺寸变更套件
设备名称: 镜头
设备名称: アライナー調整用マスク
设备名称: 对准聚焦调整用掩膜