序号: 不适用 | 数量: 1 | 设备细节: 干式泵 | 设备: 干式泵 | 描述: 速度 2500-3000L/min,压力 4.0-5.3Pa
序号: 不适用 | 数量: 1 | 设备细节: 泵 | 设备: 泵
序号: 不适用 | 数量: 2 | 设备细节: 泵 | 设备: 泵 | 描述: 速度 300CFM,压力 1mTorr,功率 5.9kW