半导体组装与封装设备用于将晶圆与芯片组装、封装并进行测试,包含黏贴(die attach)、线键合(wire bonding)、翻转芯片(flip‑chip)、封装、晶圆级封装及最终检测等设备。此类设备需符合洁净室要求,具备高精度对位、环境控制与可追溯的工艺数据,以确保良率与可靠性。
核查维护与校准记录、运转周期、污染历史、软件版本与授权、与目标晶圆/芯片尺寸的兼容性,以及备件与服务可得性。
使用专业货运,做好防静电、洁净罩、干燥剂和抗震防护。固定活动部件,按需放掉工艺液体,并安排到货后的清洁与再认证。
遵循厂商预防性维护:更换过滤器与真空泵油,检查光学与对位,更新固件,保持校准,并备有关键备件及服务合同。