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晶片尺寸: 8" | 分室: 4c/h（微波炉型）
晶片尺寸: 8" | 分室: 3C/H
晶片尺寸: 12" | 过程: 氧化物 | 分室: 3C/H
晶片尺寸: 12" | 过程: 氧化物 | 分室: 4C/H
马萨诸塞, 美国
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