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二手 光学检测 在 京畿道, 韩国

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    TOKYO SEIMITSU Surfcom 578A

    • 品牌: Accretech - Tokyo Seimitsu - TSK
    • 型号: Surfcom 578A

    晶片尺寸: 200mm | 数量: 1 | 交付时间: 立即行动

    龙仁市, 韩国

概述

用于半导体计量的光学检测系统通过高分辨率相机、精密光学和受控照明检测缺陷、测量关键尺寸并验证晶圆和掩膜图案。此类非接触系统集成图像分析、自动化台面和统计报告，提供高速且可重复的测量。购买时应关注分辨率、检测通量、自动化程度、晶圆尺寸兼容性以及与洁净室/工艺环境的集成能力。

常见问题解答

购买二手光学检测系统应检查哪些项目？

核验光学分辨率和相机参数、照明模式、台面精度、软件版本与许可、校准证书、维护记录、备件供应情况，以及与你工艺和晶圆尺寸的兼容性。

如何确保设备安全运输到我方工厂？

选择有半导体设备运输经验的承运商，对光学和电子部件进行专用加固包装，使用冲击/倾斜传感器，控制运输温湿度，固定易损模块并购买运输保险。

应遵循怎样的维护与校准计划？

定期清洁光学元件，按可追溯标准进行周期性校准，更新软件，按需更换光源，维护台面，并按制造商建议按时或按小时进行预防性维护。