最大晶圆尺寸: 8 英寸 | 砂轮规格: 直径 203(外径)毫米 | 砂轮轴功率: 6.0 kw
最大晶圆尺寸: 8 英寸 | 砂轮规格: 直径 203(外径)毫米 | 砂轮轴功率: 6 kw | 工作台数量: 3个
工作台数量: 4 个 | 砂轮规格: 外径 303 毫米 | 最大晶圆尺寸: 8 英寸 | 砂轮轴功率: 7.5 kw